HT200 为 Syensqo（原 Solvay 苏威）高性能全氟聚醚介电传热流体，具备优异的热化学稳定性与绝缘特性，广泛应用于半导体工艺温控、两相浸没液冷及电子器件可靠性测试等严苛工况。同属该 Galden 系列的牌号还包括:HT110、HT135、HT170、HT270、SV70、SV80，均为无色透明的惰性氟化液体。其中 HT 系列主打介电传热、工艺温控及两相浸没冷却应用；SV 系列为低沸点溶剂型全氟聚醚，主要用于精密器件清洗、除油及去除氟脂。
一、核心物性参数（25℃标准条件）
| 项目 | 参数 |
|---|
| 外观 | 无色透明液体 |
| 闪点 | 200℃ |
| 倾点（流动点） | -85℃ |
| 密度 | 1.79 g/cm³ |
| 运动粘度 | 2.40 cSt |
| 蒸气压 | 0.2 Torr |
| 平均分子量 | 870 |
| 表面张力 | 19 dyne/cm |
| 导热系数 | 0.065 W/m·K |
| 比热容 | 0.96 J/g·℃ |
| 汽化热（沸点） | 62.8 J/g |
| 介电常数 | 1.94 |
| 介电强度（2.54mm 间隙） | 40 kV |
| 折光率 | 1.281 |
| 水溶解度 | 0.0014% |
| 安全属性 | 不可燃、不自燃 |
二、材料关键特性
化学高度惰性:耐强酸强碱、氧化剂，几乎不与金属、多数工程塑料、氟橡胶发生反应，使用后无残渣、无结焦，不会腐蚀精密元器件。
优异介电绝缘:极低介电常数、高击穿电压，带电元器件可直接浸泡，不造成短路漏电，适合带电热测试、浸没冷却。
宽温域液态窗口:低温‑85℃仍可流动，沸点 200℃，兼顾深冷与中高温工况；低表面张力，可浸润微小缝隙，换热均匀。
低挥发损耗:高温下蒸气压低，闭环循环系统损耗小，使用寿命长；不燃，大幅降低高温工况安全风险。
洁净度高:电子级低杂质，适合半导体洁净车间环境。
三、主要应用领域
1、半导体制造（核心应用）
等离子刻蚀机 Etcher、PVD/CVD 化学气相沉积设备温控、离子注入机热传导
晶圆工艺闭环温控、半导体设备气相加热 / 气相焊接介质
芯片可靠性老化测试 Burn‑in、IC 器件筛选测试液，带电元器件直接浸泡控温。
2、数据中心 & AI 算力液冷
单 / 两相浸没式液冷，GPU、CPU 高功率服务器、超算散热；绝缘安全，带电电路板直接浸入。
3、工业精密热管理
闭环循环冷却器、高低温油浴、气相恒温系统；雷达、微波器件绝缘冷却。
光伏、太阳能设备温控；特种仪器仪表高低温循环介质。
4、电子电气行业
变压器、高压组件绝缘冷却；航空航天精密电子热控； 雷达组件温控。
5、特种化工 & 制药
强腐蚀反应釜惰性传热介质，隔绝氧气，不参与化学反应；高纯工艺温控。